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俄罗斯造出150纳米光刻机！性能相当于20年前的奔腾4水平_我的网站

一 |     　　中新社北京8月25日电 (记者 马帅莎)记者从中国民营卫星企业银河航天获悉，8月25日，银河航天灵知09泰国立方星随长征六号丙运载火箭，在太原卫星发射中心发射升空。这颗卫星是银河航天抓总研制的第一颗海外卫星，也是中国民营卫星企业首次实现面向东南亚国家整星出口。　　银河航天灵知09泰国立方星的用户方为泰国地理信息与空间技术发展局(GISTDA)。它主要用于为泰方提供国土、农业、生态等地表遥感数据收集服务，以及在教育层面支撑泰国高校开展卫星设计研制、航天测控、遥感应用等方向的实践教学。    7月22日，据财闻海外资讯，俄罗斯绿城纳米技术中心（ZNTC）已成功研制出一台电子束光刻机（ELL）原型机，设计标准为150纳米。图为银河航天灵知09泰国立方星在轨模拟图。该项目属于俄罗斯国家计划科学技术发展框架下的重点研发任务，代号为Progress ELL 150。(银河航天 供图)　　作为新兴产业，商业航天领域此前鲜有民营企业直接开展整星出口业务。此次合作，银河航天为GISTDA提供了整星、地面系统和能力培养的一体化解决方案，先后多次组织泰方成员来华开展集中培训，并在后续派遣专业团队赴泰开展实地教学和地面系统建设调试，推动泰方实现从卫星实操应用到系统认知等方面的进阶升级，从“使用卫星”走向“理解卫星”。         这台设备主要用于制造光掩模，也可在不使用掩模的情况下直接在基板上绘制电路图案。　　GISTDA副执行主任Phee Choosri表示，此次与银河航天开展的合作，是泰中两国在航天领域进行国际合作的重要实践。这颗卫星的意义不仅在于一项技术成就，更是人才能力建设、技术研发与知识交流的重要载体。项目推进过程中，双方团队紧密协作，共享专业技术经验，在卫星研制领域积累了宝贵的实操经验。150纳米制程大致对应20年前英特尔奔腾4的性能水平。2025年ZNTC曾展示过350纳米分辨率的同类设备，目前已向90纳米和130纳米技术节点推进。　　银河航天解决方案部总经理张鹏表示，这次合作验证了银河航天全链条的海外交付能力，公司将以此为契机，把中国的航天技术以及解决方案带到更多“一带一路”共建国家和地区。         行业专家指出，这种设备仅适合航天、国防等领域的专用芯片小批量生产。

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Published on:08:16:41